近日，中國(guó)機(jī)械工業(yè)集團(tuán)公司（簡(jiǎn)稱國(guó)機(jī)集團(tuán)）所屬沈陽(yáng)儀表院 “12英寸IC專用芯片劃片工藝裝備研制”通過(guò)了科技成果鑒定。
項(xiàng)目研制出了國(guó)內(nèi)首臺(tái)全自動(dòng)、龍門式12英吋砂輪劃片機(jī)。最高累積步進(jìn)精度可達(dá)2μm/310mm，主軸最高轉(zhuǎn)速41000r/min。
申請(qǐng)國(guó)家發(fā)明專利3項(xiàng)以上，實(shí)用新型專利4項(xiàng)以上，取得了一批具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的研究成果，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白，整體技術(shù)水平達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，形成了相應(yīng)技術(shù)規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)。
項(xiàng)目的研發(fā)成功為提升我國(guó)IC（集成電路）裝備的技術(shù)水平檔次、提高國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)的競(jìng)爭(zhēng)力和市場(chǎng)占有率，滿足我國(guó)IC裝備需求將起到重要的推進(jìn)作用。
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